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HORIBA質量流量控制器

LF-F/LV-F 液體微小質量流量計/控制器

產品分類:HORIBA質量流量控制器

產品介紹

概要

搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

  • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。
  • 可以進行微升以上的微小流量控制。
  • 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
  • 超潔凈類型

規格

 

名稱

質量流量計

型號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復性 *3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內 (T98)

2秒以內 (T98)

使用環境溫度 *4

5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

溫度影響 Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值值 *5

最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

最大值. 500Pa

流量設定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式:RS485(F-Net通信協議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

SUS316L, Ni

標準接頭

1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

名稱

質量流量控制器

型號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類 *1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度 *2

最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直線性 *3

±0.5% F.S.

重復性 *3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內 (T98)

2秒以內 (T98)

使用環境溫度 *4

5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值 *5

0.05?0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

流量設定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數字式:RS485(F-Net通信協議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規格

PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

接液部材質

PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

標準接頭

1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型

*1: LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時,請預先進行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2: LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
*3: 以SEMI E56-1296 為準。
*4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

 

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