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HORIBA質量流量控制器

SEC-N112 數字式質量流量控制器

產品分類:HORIBA質量流量控制器

產品介紹

概要

基于多年來引領尖端技術產品的市場發展經驗,我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。 
氣體被廣泛地運用于各種工業領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,這一獲得巨大關注的再生能源項目得到了全球各地的支持;到半導體、液晶面板和在電子行業中使用的發光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展,為一流的制造工藝,包括半導體、光電和LED的制造提供服務,并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。

型號

 

10sccm
10SLM
20SLM
100SLM
200SLM
SEC-N102
SEC-N112
SEC-N122
SEC-N132
SEC-N142
SEC-N104
SEC-N114
SEC-N124
SEC-N134
SEC-N144
SEC-N106
SEC-N116
SEC-N126
SEC-N136
SEC-N146

特征

HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。

型號

選擇信號傳輸模式

選擇電源

SEC-N102 系列

數字式信號傳輸

?RS485 F-NET協議

模擬式信號傳輸

?0~5VDC

±15VDC (±5%)

HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產品

SEC-N104 系列

DeviceNet 信號傳輸

遵照ODVA標準

SEC-N106 系列

PROFIBUS 信號傳輸

模擬式信號傳輸

?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA

遵照PROFIBUS標準
24VDC(13 to 32VDC)

 此型號適合各種小流量到大流量的需要。

流量控制范圍為標定滿量程的2100%

高精度

■高精度(設定點為基準)MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高,各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進行校驗。

 

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可變PID運算法則:1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了最新開發的“可變PID系統”,對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時,可變PID將根據當下的設定點不斷變化,其PID參數也將隨之被優化。              

多氣體、多量程的解決方案

■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規格的能力 最新的多氣體、多量程系統使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。

致力于成本考量,運用新的設計概念

作為N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產品。請注意,在沒有通知的情況下,可能會對某些需要提高生產率的部件和產品工藝做出修改,但不會牽涉到改變產品的規格。

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