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MKS質量流量控制器

MKS GE50A質量流量控制器

產品分類:MKS質量流量控制器

產品介紹

GE50A質量流量控制器

GE50A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。

對于當今市場上的質量流量控制器,GE50A可作為直接替代的產品,標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。

技術參數:

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

控制量程:2% to 100%的全量程。

測量精度:全量程的1%

靈敏度:全量程的0.1%

熱機時間:小于2Min.

響應速度:小于2Sec.

輸入電壓:±15VDC@100ma

輸出電壓:0-5VDC

連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數字:RS485或Device net或Profibus

法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等

材質:316不銹鋼。

質保期:有限保修自售出之日起12個月。

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