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MKS質量流量控制器

Delta質量流量計

產品分類:MKS質量流量控制器

產品介紹

Delta質量流量計

DELTA® II流量比例控制器隨著 DELTA 流量比例控制器的使用, 優化工藝結果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數。比例可從1:1至1:20。

使用DELTA™流量比例控制器(FRC)能更容易獲得最佳的工藝性能。FRC廣泛用于不同的流量分離設備,如刻蝕、去膠和PECVD工藝設備中,FRC使用戶能夠將氣體或混合氣體分送至同一反應室中的兩個不同區域。根據氣體(或任何混合氣體)及其設定比率,FRC會自動將氣體分送到兩個不同的出口。

在任何新的和已有的工藝設備中使用FRC都很簡單。擁有大量程范圍的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供選擇,FRC均可以滿足您的要求。憑借擁有版權的計算器,我們應用工程師們將為您的應用選擇正確的部件。MKS會傳送給您有關機械和電學細節的電子文檔,幫助您開始進行部件的整合。由于FRC在工作中保持一個低于大氣壓的管道壓力,因而通常不需要特殊的防漏措施。

 

 

 

  • 品  牌:MKS
  • 計量單位:臺
  • 商品性質:實物銷售
  • 產        地:美國
  • 交貨周期:6-8周
  • 包裝形式:紙箱包裝
  • 保 修 期:保修12個月
  • 市場價格:請來電 0510-88701706咨詢或在線留言
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