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MKS質量流量控制器

MKS 253B 蝶閥 排氣節流蝶閥

產品分類:MKS質量流量控制器

產品介紹

253B排氣節流閥的主要特點如下:

1、253B型排氣節流閥用來調節工藝系統中的氣體排放,通過一個舌門來調整氣體的流量,從而控制工藝過程的壓力.

2、253B型的舌門軸和馬達驅動軸之間有一個獨特的非線性激勵器,用來產生線性的閥門切換特性并提供平滑的線性壓力控制.

3、253B型有各種標準的尺寸和法蘭類型,它與所有MKS系列節流閥控制器兼容.

 

Type 253

The MKS Type 253 Exhaust Throttle Valve regulates the removal of gas from a processing system. Its flapper is positioned to modulate gas flow, thereby controlling process pressure. The 253 has a non-linear actuator placed between the flapper shaft and the motor drive shaft in order to generate a linear valve transfer characteristic and provide smooth linear pressure control. The MKS Type 253 is available in standard sizes and flange styles, and is compatible with all MKS throttle valve controllers.

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