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MKS真空計壓力計

MPG400/MPG401冷陰極皮拉尼復合真空規

產品分類:MKS真空計壓力計

產品介紹

    INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規 MPG400MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.

MPG400冷陰極和皮拉尼的復合真空規的詳細介紹
優點:
復合真空規—冷陰極與皮拉尼
寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
無可燒毀的燈絲
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金屬密封的饋入件
高壓加上時LED指示燈亮
對數模擬輸出訊號
應用:
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統的壓強測量
一般真空測量和控制,從中至高真空范圍
技術參數:

 測量范圍 (空氣, N2)

 
毫巴()
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
% 讀值
≈±30%
重復性1 x 10-8 … 100毫巴
% 讀值
≈±5%
安裝方向
 
任何
允許壓強
(絕對)
≤10 (限于惰性氣體)
允許溫度
工作 (室溫)
貯存 
烘烤 1)
燈絲溫度 (皮拉尼)
 
°C
°C
°C
°C
 
+5 … +55
–40 … +65
150
120
電源電壓
 
 
在規管上
V DC
+15 … +30
在供電單元上, 最大電纜長度 2)
V DC
+16 … +30
紋波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
連接保險絲
AT
≤1
輸出訊號(測量訊號)
 
 
電壓范圍
V
0 … +10.5
測量范圍
V
+1.82 … +8.6
電壓與壓強的關系
 
對數, 0.6 V/量級
誤差訊號
V
<0.5 (無電源)
 
V
>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
輸出阻抗
?
2 x 10
最小負載阻抗
k?
10, 短路保護
響應時間      p > 10-6 毫巴
毫秒
<10
p = 10-8 毫巴
毫秒
≈1000
規管標識
k?
85, 參考電源公共點
狀態
 
 
僅皮拉尼模式
V
0 ()
復合皮拉尼 / 冷陰極模式
V
15 … 30 ()
指示燈
LED 綠色
高壓on
電氣連接
 
FCC 68 設備連接件, 8,凹型
傳感器電纜
 
8,加屏蔽
電纜長度
≤50 (8 x 0.14 毫米2)
工作電壓
千伏
≤3.3
工作電流
微安
≤500
暴露于真空的材料
 
不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W
不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
內容積
厘米3
≈20
重量
上一個 PEG100潘寧規
 
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