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Alicat質量流量控制器

ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

產品分類:Alicat質量流量控制器

產品介紹

量程10 SCCM-3000 SLPM,優于2 %的精度,控制范圍廣,優于100 ms響應時間,適用于高壓應用

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21Q系列氣體質量流量控制器,同我們的標準控制器一樣,能對需要較高管線壓力(160-320 psia)的應用環境進行快速控制響應。這款高壓應用質量流量控制器可快速達到新的設定值,并保持該設定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能,確保相關產品能夠快速實現穩定控制。?
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應用及案例

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● 大學/研究所? ? ? ? ? ? ? ? ?● 環境監測

● 真空行業及鍍膜? ? ? ? ? ?● 工業爐窯

● 半? 導? 體? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 汽車制造

● 光? ? ? ?伏? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 燃料電池

● 計量校準? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 過程工藝氣體測量

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產品特色

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● ?多功能。監控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

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● ?連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

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● ?耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性,我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。


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精度升級

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量程為10 SCCM - 3000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:

質量流量普通精度? ? ? ? ?± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程(取最大值)

測量和控制范圍? ? ? ? ? ? ?0.1 ~ 100%滿量程

重復性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1%滿量程

質量流量零點漂移? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ ℃溫差?

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移? ? ? ? ± 0.01%讀 數/ ℃溫差?

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差


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性能指標

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介質要求??? 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類??? 內置了98種氣體,請參考氣體兼容表

? ? ? ? ? ? ? ? ? 一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇

量? ? ? ?程? ? 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM(詳情請咨詢)

測量和控制范圍? ? 0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量??? 高達128%滿量程(取決于氣體)

最大可控流量??? 102.4%滿量程

顯? 示? 屏??? 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式??? 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度

精? ? ? ?度??? ± 2%滿量程??精度升級見上段

重? 復? 性??? ± 2%滿量程

零點漂移&滿量程漂移??? 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應時間??? 優于100 ms

預熱時間??? <1s

標定工況??? 25 ℃&1Atm(其它標況可調)

工作溫度??? -10 ~ 60 ℃(可選高溫選項至100℃)

溫度精度?? ?± 0.75℃

工作濕度??? 0 ~ 100%

最大工作壓力??? 320 psia

滿量程壓損??? 參考詳細壓損表

數據刷新頻率??? 數字信號40Hz@19200波特率;

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模擬信號:1000 Hz

屏幕刷新頻率??? 10Hz

數字輸入/輸出信號??? RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度?? ?在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 ????12 - 30 VDC (15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出)

供電電流?? ?0.250 A

電氣接口??? DB9,可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率(外漏)??? 選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He?

材? ? ? ?質??? 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料,請聯系我們。

過程連接??? 詳情參考壓損表

安裝方式??? 對位置無要求

防護等級??? IP40

認? ? ? ?證??? ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

?*如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢


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選項配件

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(需另行訂購)

● ?過程端口接頭和過濾器

● ?電源

● ?通訊線纜和轉換線纜

● ?BB3和BB9多點式集線盒

● ?Flow Vision軟件


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包裝清單

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● ?MCQ系列高壓氣體質量流量控制器(電源需另行訂購)

● ?NIST可溯源校準證書

● ?艾里卡特操作說明書


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尺寸詳圖

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21Q尺寸圖.png


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尺寸壓損

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滿量程質量流量控制器

滿量程壓損(PSID)

排氣到大氣中

機械尺寸1

過程連接2

10 SCCM ~ 50 SCCM

1.0

4.4''H x ? 3.4''W x 1.1''D

M-5?(10-32)(內螺紋)

100 SCCM ~ 500 SCCM

1.0

4.6''H x ? 3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT?內螺紋

1 SLPM

1.5

2 SLPM

3.0

5 SLPM

2.0

10 SLPM

5.5

20 SLPM

20.0

50 SLPM

9.0

5.7''H x ? 7.7''W x 2.3''D

1/4'' NPT?內螺紋

100 SLPM

2.6

250 SLPM

4.6

6.0''H x ? 7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT?內螺紋

500 SLPM

6.5

6.0''H x ? 7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT?內螺紋

(A 1-1/4” NPT?內螺紋可選過程連接

可用于2000 slpm?流量計)

1000 SLPM

14.0

1500 SLPM

17.0

2000 SLPM

28.6

6.0''H x ? 8.1''W x 2.9''D

3000 SLPM

16.8

6.0''H x ? 8.9''W x 2.9''D

1-1/4'' NPT?內螺紋

注1、公制數據見圖紙;

2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可根據要求連接VCR和SAE。

3、與M-5?(10-32)外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內螺紋接頭一起裝箱。


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產品大圖

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21Q網站大圖.jpg


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