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Alicat質量流量控制器

ALICAT 質量流量控制器11系列-基本型

產品分類:Alicat質量流量控制器

產品介紹

 

應用及案例

 

● 大學/研究所    ● 環境監測     ● 真空鍍膜    ● 工業爐窯    ● 半導體    ● 汽車制造    ● 光伏    ● 燃料電池     

● 計量    ● 過程工藝氣體測量

產品特色

 

● 低價位產品
● 標配模擬控制方式,數字可選
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)


 

性能指標

 

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    單種氣體標定,請參考背面氣體兼容表

量       程    從0-10SCCM 到 0-20SLPM(詳情請咨詢)

量  程  比    200:1

最大顯示流量:102.4%FS

精    度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數 FS-滿量程

重復性:± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ℃ / Atm

預熱時間:<1s

響應時間:100ms(可調)

標定工況:25?C & 100kPa 絕壓

工作溫度:-10 ~ +50℃

工作濕度:0-100%,無冷凝

標準最大工作壓力:1MPa 表壓

標準極限耐壓:1.2MPa 表壓

中壓選項:2MPa

模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

數字輸入/輸出信號:可選RS-232

供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流:250mA

電氣接口:DB15

材質:302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、

黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃

安裝方式:對位置無要求 

防護等級:IP40


 

 

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