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Alicat質量流量控制器

ALICAT質量流量控制器 21V系列帶集成截止閥

產品分類:Alicat質量流量控制器

產品介紹

 

應用及案例

 

 

● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量

 

產品特色

 

數字化產品
帶氣動截止閥,泄漏率低
多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
可選高精度:可優于0.5%
 量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms(可調)
內置98種氣體
現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣


 

 

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