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Alicat質量流量控制器

ALICAT 低壓損流量控制器 21W系列

產品分類:Alicat質量流量控制器

產品介紹

 

應用及案例

 

●  低溫容器檢測

●  大學/研究所

●  泄漏檢測

●  環境監測

●  汽車制造

●  過程工藝氣體測量

 

產品特色

 

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數可控:質量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度:可優于0.5%

●  可測范圍廣,0.01~100%

●  滿量程超低壓損最低為360Pa

●  閥門響應時間快,優于100ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣


 

精度升級

 

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM,

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指標升級:

質量流量普通精度      ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質量流量高精度         ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復性                       ±(0.1%   讀數 + 0.02% 滿量程)

質量流量零點漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數 / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差


 

性能指標

 

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體,請參考氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量和控制范圍    0.01~100% 

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±(0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程)見上段精度升級部分

                  ±(0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程)(可選)

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ±(0.2 %讀數+0.02 %滿量程)

質量流量溫度漂移    0.03%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質量流量壓力漂移    ±(0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程)當壓力從標定壓力起,每變化1bar

響應時間    優于100 ms

預熱時間    < 1 s

標定工況    25 ℃ & 1Atm(可現場在測量范圍內隨意更改)

工作溫度    -10 ~ 60 ℃(可選高溫至100℃)

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95 %,無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓,進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

最低操作壓力    如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 %讀數(讀數>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率;

                         模擬信號:1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU(RS232 / RS485)

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC (如選4 - 20 mA輸出,須為15 - 30 VDC )

供電電流    250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢);額外加 40 mA( 4 - 20 mA)

電氣接口    DB9,可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、 鋁

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

 *如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢


 

選項配件

待更新。


 

安裝手冊

待更新。


 

機構認證

待更新。


 

尺寸詳圖

尺寸圖低段.png


 

尺寸壓損

 

滿量程質量流量控制器

滿量程壓損1(psid)

排氣到大氣中

外觀尺寸

連接接口2

0.5 sccm - 2 sccm

0.06

3.9''H x   3.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)內螺紋

(含M-5 (10-32)

外螺紋Buna-N O型密封圈

至1/8''  NPT內螺紋)

5 sccm - 10 sccm

0.08

20 sccm

0.07

50 sccm - 200 sccm

0.07

4.1''H x   3.6''W x 1.1''D

1/8'' NPT 內螺紋

500 sccm

0.08

1 slpm

0.10

2 slpm

0.18

5 slpm

0.10

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/4''NPT內螺紋

10 slpm

0.12

20 slpm

0.26

40 slpm

0.14

5.5''H x   7.7''W x 2.3''D

1/2'' NPT 內螺紋

50 slpm

0.17

5.5''H x   7.3''W x 2.3''D

3/4'' NPT 內螺紋

100 slpm

0.30

250 slpm

0.69

500 slpm

0.69

5.5''H x   8.1''W x 2.7''D

3/4'' NPT 內螺紋

1000 slpm

1.65

6.3''H x   9.8''W x 4.5''D

2'' NPT 內螺紋

1、公制當量見圖紙。

2、與Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可以按照用戶需求與VCR,SAE接頭相兼容。


 

產品大圖

質量流量控制器-低壓損-MCW-21W.png


 

氣體編碼選型表截圖長圖.png

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