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HORIBA質量流量控制器

SEC-8000 高溫質量流量控制器

產品分類:HORIBA質量流量控制器

產品介紹

概要

質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環境。而質量流量,是利用測量氣體的質量,而質量是不受外界的環境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導體制造制程有廣泛的使用。

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。

  • 適用于高溫:可滿足150℃烘焙
  • 產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
  • 超清潔類型:接氣部全不銹鋼構造
  • 最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

規格

 

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8440LSL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8450LSL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8455LSL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8460LSL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

SEC-8440LSM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8450LSM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8455LSM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8460LSM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

SEC-8440LSH

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8450LSH

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8455LSH

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8460LSH

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

SEC-8440SL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8450SL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8455SL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8460SL

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

SEC-8440SM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8450SM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8455SM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

SEC-8460SM

 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

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