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Aera質量流量控制器

Aera FC-7700CD質量流量控制器

產品分類:Aera質量流量控制器

產品介紹

美國Aera FC-7700系列質量流量計
優點:
高性價比
響應速度快:小于2秒
無與倫比的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成:標準接頭和尺寸
出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性

特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許最大清洗流量:高達最大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

FC-7700氣體質量流量計的詳細資料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產品專為從業于半導體、平板顯示、數據存儲、工業真空和工業鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現出良好的可靠性和優異的性能。
性價比高:
FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。
響應速度快:
FC-7700系列產品采用最新技術設計,工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其先進之處包括:采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產品相比,FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現過沖,達到設定點的時間不到2秒。
無與倫比的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設計理念,這使它可以經受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產品中最佳的零點漂移穩定性--使用超過一年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產品中,僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。
出眾的效果:
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。
型號參數:
類別 FC-7700、7700C、7700CD、7700CU FC-7710、7710C、7710CD、7710CU FC-7720、7720C、7720CD
滿量程范圍 10sccm到5slm 6到20slm 35到150slm、20到50slm
響應時間 到達設定點±2%所需時間<2秒 到達設定點±2%所需時間<3秒
精度 滿量程±1%范圍內 滿量程±2%范圍內
線性度 滿量程±0.5%范圍內 滿量程±0.5%范圍內 滿量程±1%范圍內
滿量程±1%范圍內
重復精度 滿量程±0.2%范圍內
漏率 最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制范圍 滿量程的5到100%
壓差 7至40 psi 10至40 psi(517至2069托) 21至40 psi(1086至2069托)
 (362至2069托) 14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力 50 psi(2586托)
最大入口壓力 最大值150 psi(7740托)
溫度范圍 5至45℃

注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列。

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