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SIERRA質量流量控制器

SEC-E50質量流量控制器

產品分類:SIERRA質量流量控制器

產品介紹

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310,可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號:SEC-405可以進行±0.5%F.S.的流量控制。

特征

  •  可對應±0.5F.S.SEC-405(氣體種類限定)
  • 同系列產品,從0.1CCM200SLM(N2)都可進行流量控制
  • 實現面間距離106mm: SEC-300型式

規格

 

SEC-310

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開; NC: 非通電時:關閉

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-320

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-405

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

流量控制范圍

2?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±0.5% F.S.(滿量程)

SEC-410

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-510

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-510A

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-520A

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-551

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

標準流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-552

 

氣體接觸部材質

SUS-316、バイトン

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

30/50/100 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-610

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0% F.S.(滿量程)

SEC-620

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

50/100/150 SLM

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-623

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

150/200 SLM (H2:300 SLM)

流量控制范圍

10?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-400MK2

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-500MK2

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-400MK3

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時:開

標準流量量程

10/20 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100% F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0% F.S.(滿量程)

 

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